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流　体　力　学　セ　ミ　ナー　 2011

日時： 7月 4日（月） 15:00 から 16:30

場所： 京大 数理解析研究所 204号室

講師： 高木 洋平 氏
(大阪大学 大学院基礎工学研究科 物質創成専攻 化学工学領域)

講演題目： 半導体結晶成長プロセスに見られる移動現象と対流制御

講演要旨：
半導体バルク単結晶の成長プロセスでは原料結晶を
炉内で溶融させて冷却することによって高品質な結晶を
成長させる。この融液内では温度差及び濃度差に起因
する対流が発生し、複雑な移動現象となっているが、
高温炉内の直接観察は不可能であるため、従来の結晶
成長技術には試行錯誤と経験が必要とされてきた。
本研究では各種結晶成長法に見られる融液内対流を
数値計算によって解明し、結晶品質に影響を与える
対流を制御することを試みている。今回の発表では、
Traveling Heater Method(THM)を用いたSi/Geバルク
単結晶成長におけるるつぼ回転と磁場印加を用いた対流
制御の例と、マランゴニ対流に起因するHydrothermal
Wave(HTW)について話題提供を行う。

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世話人：山田 道夫(京大数理研)， 藤 定義(京大)，松本 剛(京大理)
アドバイザー：船越 満明（京大情報学）、水島 二郎(同志社大工)、
余田 成男（京大理）
連絡先：山田道夫 yamada@kurims.kyoto-u.ac.jp
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